結構簡單合理,零件種類、數(shù)量少,維護方便。比傳統(tǒng)真空泵節(jié)能明顯。
轉(zhuǎn)子型線嚙合均勻,密封性好,抽氣效率高;
轉(zhuǎn)子作G1級動平衡實驗,泵運行震動小。
排氣路徑短,減少制程物沉積;
采用密封式結構,避免了因動密封磨損而出現(xiàn)的潤滑油外漏現(xiàn)象。
轉(zhuǎn)子作G1級動平衡實驗,泵運行震動小
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