信然螺桿真空泵迎來【深圳華為】合格供應商技術人員的關注。帶著懷疑和不信，帶著專業(yè)的儀器和儀表到制磚廠客戶現(xiàn)場，測信然螺桿真空泵的實際真空度數(shù)據(jù)。結果對測試結果贊不絕口。所測數(shù)據(jù)均符滿足或大于客戶實際需求，尤其是噪音低于65分貝，讓客戶不敢相信。

信然螺桿真空泵：“只有你想不到，沒有我們做不到”的真空度和噪音。

信然螺桿真空泵：清潔；安全；耐磨；造價低；維修方便；性能穩(wěn)定；振動小；噪音低等優(yōu)點。

在半導體制造業(yè)中有很多種不同的真空泵。我們把它們分成兩類:初級泵和高級真空泵。初級泵有幾種用途:在腔內(nèi)創(chuàng)造近似中級真空(壓力小于10-3托);清空多腔集成設備中接收硅片的區(qū)域(如真空鎖);為高級真空泵抽氣(見圖1).高級真空泵用來獲得壓力范圍10-3托到10-9托的高級和超高級真空。新型晶片廠中使用的現(xiàn)代真空泵是干性的，意味著其內(nèi)部沒有任何可能回流到工藝腔中沾污硅片的油或潤滑劑。

信然公司螺桿泵特點：

1.轉子型線嚙合均勻，密封性好，抽氣效率高。

2.極限真空高，極限壓力可達0.2Pa。

3.進口了一批螺桿轉子專用加工中心，加工精度高，產(chǎn)品性能穩(wěn)定。

4.螺桿泵轉子均作G1級動平衡試驗，運行時泵的振動小。

5.泵標配定制電機，泵油腔與電機之間形成封閉式結構，取消了電機端軸伸動密封，杜絕了軸端漏油問題。

6.泵標配專用可拆洗式消聲器，消聲效果好，噪聲低；同時便于拆洗維護。

7.螺桿泵結構合理，能適應多種維護、保養(yǎng)措施，對多種對泵有危害性的情況擁有相對應的處理方法，并可配置相對應的結構或附件，針對性強、維護效果好，操作簡單，處理時間短，能更好地保障設備的正常運轉。

如圖所示,信然螺桿真空泵內(nèi)裝有一-對平行的螺旋狀的轉子,兩個轉子的泵體內(nèi)通過一對精密齒輪保持同步反向旋轉。轉子與轉子之間,轉子與泵體之間又有摩擦且保持一-定的間隙 ,兩個轉子與...

壓強范圍  真空泵種類 工作壓強范圍（Pa） 起動壓強（Pa）

螺桿式真空泵 200～1100  1105。

活塞式真空泵 1105～1.3102 1105。

旋片式真空泵 1105—6.710-1 1105。

水環(huán)式真空泵 1105—2.7103 1105。

羅茨真空泵 1.3103—1.3 1.3103。

渦輪分子泵1.3—1.310-5 1.3。

水蒸氣噴射泵 1105—1.310 -1 1105。

油擴散泵 1.310-2—1.310 -7 1.310。

油蒸氣噴射泵 1.310—1.310 -2<1.3105。

分子篩吸附泵 1105—1.310 -1 1105。

濺射離子泵 1.310-3—1.310 -9 6.710-1。

鈦升華泵 1.310-2—1.310 -9 1.310-2。

鋯鋁吸氣劑泵 1.310—1.310 -11 1.310。

低溫泵 1.3—1.310-11 1.3—1.310-1。

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